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薄膜电感(Thin Film Type)

薄膜电感采用的是类似于 IC 制作的工艺,在基底上镀一层导体膜,然后采用光刻工艺形成线圈,最后增加介质层、绝缘层、电极层,封装成型。

薄膜器件的制作工艺,如下图所示。

电感基础知识(二)——电感的工艺与结构

图 4 TDK 薄膜电感

电感基础知识(二)——电感的工艺与结构

图 5 TDK 薄膜线圈

光刻工艺的精度很高,制作出来的线条更窄、边缘更清晰。因此,薄膜电感具有

  • 更小的尺寸,008004 封装

  • 更小的 Value Step,0.1nH

  • 更小的容差,0.05nH

  • 更好的频率稳定性